“利用集成电路工艺改进固体照明外效率的研究”验收----中国科学院上海分院60周年院庆

“利用集成电路工艺改进固体照明外效率的研究”验收

2009-07-09 | 【大中小】【打印】【关闭】

     6月30日，上海光机所周常河研究员课题组承担的上海市国际合作项目“利用集成电路工艺改进固体照明外效率的研究”通过上海市科委验收。

     项目基于深刻蚀光栅的简化模式，在石英玻璃基板上，采用高密度等离子体刻蚀设备、半导体光刻工艺和激光全息技术，完成了一系列的高效率亚波长光栅器件的开发。如：宽带1×2分束器，偏振无关1×3分束器等。测试报告显示：深度2微米左右，在1550纳米波段，效率高于91％，达到任务书要求。
     项目发展了光栅简化模式方法，这种方法不仅清晰地给出亚波长深刻蚀石英光栅的物理本质，而且可以进一步设计出一系列新型高效率光栅结构，有重要的理论指导价值。同时，鉴于项目成果可基于普通的石英玻璃基板，开发具有光谱范围宽、使用寿命长、不易霉变、稳定可靠、热稳定性好等优良偏振分光性能的亚波长光栅器件，科学理论上显示其有广泛的应用前景。

     本项目在执行过程中，共申请发明专利7项，培养了硕士、博生研究生11名，在国内外重要刊物上发表了13篇论文。